集成电路工艺认识实习报告

集成电路工艺认识实习报告1. 专题一 MEMS〔微机电系统〕工艺认识1.1 重庆大学微系统研究中心概况重庆微光机电工程技术研究中心依托于重庆大学，主要合作单位有中国电子科技集团公司第二十四研究所等。中