磁控溅射沉积TiTiN多层膜的组织特征及耐磨损性能

- 磁控溅射沉积Ti/TiN多层膜的组织特征及耐磨损性能 * - 崔文芳,曹栋,秦高梧 - 东北大学材料各向异性与织构(教育部)重点实验室, 沈阳 110