等离子体辅助热蒸镀Al薄膜和ZnO薄膜的微结构和光学性能研究的中期报告

等离子体辅助热蒸镀Al薄膜和ZnO薄膜的微结构和光学性能研究的中期报告引言：Al和ZnO薄膜是一些重要应用中的关键材料，例如透明导电膜、抗反射膜等。有很多方法可以制备这些薄膜，辅助热蒸镀就是其中一种。