超精密液体静压导轨静动态特性分析及控制技术研究

国内图书分类号：TG519.1国际图书分类号：621工学硕士学位论文学校代码：10213密级：公开超精密液体静压导轨静动态特性分析及控制技术研究（学术型）硕 士 研 究 生： 董鹏程导 师： 孙 涛