微机电系统功能材料-微机电系统技术基础课件

- 第二章微机电系统功能材料 - 2.1 概述 半导体硅及其化合物是制造大多数微机电系统的主要材料。同时，其他材料，如压电陶瓷、氧化锌、石英等电致伸缩材料、镍铁合金磁致