磁约束磁控溅射源研制（可编辑）

磁约束磁控溅射源研制（可编辑）磁约束磁控溅射源研制 磁约束磁控溅射源的研制 弥谦,袁建奇,雷琳娜 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 西安 710032 The design of mag