GaN基异质外延膜中Al组分含量测试方法综述

GaN基异质外延膜中Al组分含量测试方法综述前言随着纳米材料和器件的发展，GaN材料在光电和电子领域中得到了广泛的应用。其中，GaN基异质外延膜因其具备优异的电学性能、高迁移率、低噪音和高频特性等特点