原子层沉积和化学气相沉积有什么不同

原子层沉积(Atomic layer deposition)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。 原子层沉积 但在原子层沉积过程中,新一层