MoC掺杂钌基合金无籽晶阻挡层微结构及热稳定性研究

MoC掺杂钌基合金无籽晶阻挡层微结构及热稳定性研究随着电子化和信息化的发展，我们对电子元器件的高集成化、高性能化和高可靠化的要求越来越高。其中，MOC（metal-organic chemical v