物理法多晶硅提纯技术研究

物理法多晶硅提纯技术研究摘要：多晶硅是光电子领域中重要的材料之一，但由于其含杂质的高浓度会导致材料的电性能受到严重的影响，从而限制了其在半导体工业中的应用。本文综述了多晶硅提纯技术的研究进展，重点介绍