H扩散掺杂源漏的自对准顶栅a-IGZO TFT制备工艺研究

H扩散掺杂源漏的自对准顶栅a-IGZO TFT制备工艺研究H扩散掺杂源漏的自对准顶栅a-IGZO TFT制备工艺研究摘要：氧化铟锌锡（a-IGZO）薄膜晶体管（TFT）作为一种新型的有源驱动层材料，具