半导体制造企业设备综合效率改进的中期报告

半导体制造企业设备综合效率改进的中期报告本次中期报告旨在介绍半导体制造企业设备综合效率改进的进展情况和结果。一、项目背景半导体产业是高技术和高资本密集型的行业，设备维护和性能管理是半导体制造业的重要部