短脉冲激光对硅及硅基光电器件的损伤效应与机理的开题报告

短脉冲激光对硅及硅基光电器件的损伤效应与机理的开题报告一、选题背景短脉冲激光技术是一种重要的光学加工技术，可实现对材料微米级别的精细加工，也广泛应用于微电子、信息与通信等领域。然而，由于激光与材料的相