mems规模制造技术基础研究

项目名称：MEMS规模制造技术基础研究首席科学家：王跃林 中国科学院__微系统与信息技术研究所起止年限：2010.9至2015.9依托部门：中国科学院 __市科委二、预期目标1、总体目标本项目针对