蒸发法真空镀膜实验讲义

真空镀膜实验目的掌握真空镀膜的原理和正确操作。实验原理薄膜资料制备及应用薄膜资料的制备是资料科学的一个分支，薄膜制备大体上分为：化学气相聚积–借助空间气相化学反应在衬底表面上聚积固态薄膜。物理气相聚积