BiIn，SnIn双金属薄膜受体材料的无掩模光刻研究的中期报告

BiIn，SnIn双金属薄膜受体材料的无掩模光刻研究的中期报告该研究探索了用于制备BiIn和SnIn双金属薄膜受体材料的无掩模光刻技术。通过使用可见光激光器和负型光刻胶SU-8，实现了具有高分辨率和高