硅基光子集成研究进展

物 理 学 报综Ac t aPh ys ．Si n． Vo 1 ．6 3，No．1 0( 2 01 4) 1 04 21 8述硅基光子集成研究进展术周培基 李智勇 俞育德十 余金 中( 中国科学院半导