LOD效应和WPE效应在纳米工艺PDK中的应用

LOD效应和WPE效应在纳米工艺PDK中的应用标题：纳米工艺PDK中的LOD效应和WPE效应的应用摘要：随着纳米工艺的不断进步，设计和制造逐渐逼近物理极限，其复杂性与不确定性也日益增加。为了应对这些挑