[精品]椭圆偏振法测量薄膜厚度实验的小结和心得

椭圆偏振法测量薄膜厚度实验的小结和心得摘要：椭圆偏振测量是- •种通过分析偏振光在待测薄膜样品表面反射前后偏振 状态的改变来获得薄膜材料的光学性质和厚度的一种光学方法。由于椭圆偏振测 量术测量精度高，