多层簿膜厚度XQMA测定及Monte Carlo计算方法

多层簿膜厚度XQMA测定及Monte Carlo计算方法摘要：多层簿膜厚度测量是纳米科学和纳米技术领域中重要的课题之一。本文介绍了多层簿膜厚度测量的方法和主要原理，包括X射线荧光光谱法和反射法，并对它