基于四极质谱计真空材料放气率测试方法及研究

中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会 中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会基于四极质谱计的真空材料放气率测试方法研究冯焱 董猛 李得天 成永军 赵澜 孙雯君 习振华(兰州空间技术