微电子专用设备之一-无掩膜光刻技术

无掩膜光刻技术激光无掩膜光刻技术，又称激光直接成像技术（LDI,Laser Direct Imaging）,是直接利用图形工作站输出的数据，驱动激光成像装置，在涂覆有光致抗蚀剂的基材上进行图形成像的技