超细间距引线键合第一键合点工艺参数优化试验研究

超细间距引线键合第一键合点工艺参数优化试验研究 杨文建，李小平，李朝晖，邱睿 （华中科技大学IC装备研究中心，武汉 430074） 摘要：引线键合是应用时间最长、技术最为成熟且目前市