离子注入报告

离子注入报告摘要：离子注入技术是把掺杂剂的离子引入固体中的中一种材料改性的方法。 由于离子注入具有纯净掺杂、大面积均匀注入、离子注入掺杂深度小、衬底温 度可自由选择以及掺杂离子浓度不受平衡固溶度的限制