探究先进硅基前驱体的应用与技术进展

探究先进硅基前驱体的应用与技术进展引言先进集成电路制造技术推动了新材料的不断发展,随着集成电路线宽的缩小和晶体管密度的增加,先进的前驱体材料在超大规模集成电路工艺中的应用越来越成为人们关注的焦点[1,