多孔硅微细加工及其在微型传感器中的应用(一)

多孔硅微细加工及其在微型传感器中的应用(一)多孔硅是一种具有非常特殊结构和性质的材料，因其具有高比表面积、大孔隙率、可调控的孔径和孔隙结构等特点，被广泛应用于微电子器件、生物传感器、能源存储等领域。在