AR膜介绍

v1.0可编写可改正大面积多层膜积聚技术一、大面积薄膜积聚设施介绍及工艺流程1、溅射原理定义：溅射镀膜是一个极其复杂的过程，溅射积聚过程中，一般把遇到离子轰击的表面看作供应资料，作为生长薄膜的源。电离