晶体硅单晶工艺学

直拉硅单晶工艺学 前 言 绪论 硅单晶是一种半导体材料。直拉单晶硅工艺学是研究用直拉方法获得硅单晶 的一门科学，它研究的主要内容：硅单晶生长的一般原理，直拉硅单晶生长工艺 过程，改善直拉硅