高刚度导轨气浮垫性能研究及应用

高刚度导轨气浮垫性能研究及应用高刚度导轨气浮垫性能研究及应用摘要：导轨气浮垫技术是一种先进的精密机械设备支撑系统，具有高刚度、低摩擦、高精度等优点。本文针对高刚度导轨气浮垫的性能进行了深入研究，并重点