ZnO薄膜真空镀膜设备的主要性质

- ZnO薄膜的主要性质 晶体结构 未经热处理的ZnO薄膜结晶度较低,呈非晶或多晶态,通常有点缺陷、 - 线缺陷、层错和晶界等结构缺陷。这些缺陷对薄膜光电性质