旋涡式非接触硅片夹持装置的流动计算及试验研究

旋涡式非接触硅片夹持装置的流动计算及试验研究随着集成电路晶片制造技术的不断发展，硅片夹持技术也在逐步更新和改进。本文主要讨论旋涡式非接触硅片夹持装置的流动计算及试验研究，旨在探究该夹持装置的性能优势和