真空镀膜基础知识ppt课件

- 我们生产的为非晶硅薄膜太阳能电池，了解PECVD设备及工艺需要对真空镀膜有一个了解，并且对半导体物理及薄膜知识有一定的认识。我们先对薄膜的概念做一个粗略的了解。薄膜：在严格的学术意义上，认为只有聚