干涉测量中PZT移相伸长量反馈传感器的设计研究的中期报告

干涉测量中PZT移相伸长量反馈传感器的设计研究的中期报告1、研究背景干涉测量是一种高精度、高分辨率的测量方法，广泛应用于光学、机械、电子等领域。其中，PZT移相器是干涉测量中常用的组件之一，用于控制光