差动变面积式电容位移传感器毕业设计论文doc

燕山大学 传感器设计说明书 课题名称：差动变面积式电容位移传感器班 级：指导老师：学生姓名：摘要 设计差动变面积式电容位移传感器，要求规定的设计参数。1、测量范围（mm）：0~