氢化非晶硅叠层薄膜对单晶硅表面钝化研究

第 50 卷第 3 期2021 年 3 月光 子 学 报ACTA PHOTONICA SINICAVol.50 No.3March 2021引 用 格 式 ：DING Yueke，HUANG Shih