基于具有纳米结构二氧化钛敏感膜的QCM气敏传感器研究

基于具有纳米结构二氧化钛敏感膜的QCM气敏传感器研究摘 要本文以二氧化钛纳米结构敏感膜为主要研究对象，结合石英晶体微天平（QCM）进行气敏传感器的研究。研究表明，热处理可改善二氧化钛敏感膜的晶体结构和