高纯钌靶烧结过程微结构和烧结机制研究

高纯钌靶烧结过程微结构和烧结机制研究摘要：本文主要研究高纯钌靶烧结过程中的微结构和烧结机制。通过分析烧结过程中的温度、压力和时间等关键因素，探究其对靶材烧结过程中晶粒尺寸、相结构和性能的影响。结果表明

高纯钌靶烧结过程微结构和烧结机制研究 摘要： 本文主要研究高纯钌靶烧结过程中的微结构和烧结机制。通过分析 烧结过程中的温度、压力和时间等关键因素，探究其对靶材烧结过程中 晶粒尺寸、相结构和性能的影响。结果表明，高温高压条件下，靶材形 成了致密的微观结构，晶粒尺寸减小，相结构转变为更稳定的类型，并 且材料的力学性能得到了显著提高。 关键词：高纯钌靶、烧结、微结构、烧结机制、力学性能 一、引言 高纯钌靶是一种广泛应用于半导体、太阳能电池等领域的关键材 料。靶材质量的高低对其应用性能产生较大的影响。因此，研究高纯钌 靶的制备和性能提高是非常重要的。其中，烧结是影响靶材性能的一个 关键制备过程。本文将研究高纯钌靶烧结过程中微结构和机制的变化， 为靶材性能提高提供一定的理论依据。 二、高纯钌靶烧结过程 1.烧结条件 烧结条件是影响高纯钌靶制备质量的一个重要因素。通常采用高温 高压烧结方法，具体条件如下：温度1500℃-2000℃，压力 40-60Mpa，时间1-3小时。 2.烧结过程中的微结构变化 高温高压的烧结工艺可以促进高纯钌靶的烧结，改善靶材的微结构 和性能。在高温高压的条件下，靶材表面和内部部分开始流动，形成密 实的结构。此时，晶粒的大小得到了显著的减小，晶界的数量和面积增 加。这也是致密结构的形成，因为晶界区域是比较活跃的，容易与周围 晶粒形成较强的结合，并使材料具有更高的力学性能。