MEMS粘附的分子动力学研究的任务书

MEMS粘附的分子动力学研究的任务书任务书题目：MEMS粘附的分子动力学研究一、研究背景和意义：MEMS（微机电系统）是一种微型电子机械系统，具有普遍的应用前景。MEMS在微型传感器、执行器、微泵、微