砷化镓生产工艺流程

砷化镓生产工艺流程砷化镓生产工艺流程一、备料工序流程1、备料处理：⑴对坩埚及备件的处理① 将石英件和PBN坩埚放入煅烧炉中煅烧（目的是除去坩埚表面的杂质）② 将石英件和PBN坩埚送入腐蚀间用王水进行酸