磁控溅射卷绕镀膜设备运行监控系统的设计与实现

磁控溅射卷绕镀膜设备运行监控系统的设计与实现第1章 绪 论 1.1课题概述 在许多领域作为一种非常有效的薄膜沉积方法被普遍和成功地应用如材料表面处理、光学薄膜和微电子等）[1]。产品在航天、生物以及