第8章光刻与刻蚀工艺ppt课件

- 光刻与刻蚀的定义 - 光刻工艺的重要性：IC设计流程图，光刻图案用来定义IC中各种不同的区域，如：离子注入区、接触窗、有源区、栅极、压焊点、引线孔等主流微电子制造过程中，光刻