薄膜制备方法

薄膜制备方法物理气相沉积法PVD：真空蒸镀、离子镀、溅射镀膜化学气相沉积法CVD：热CVD、等离子CVD、有机金属CVD、金属CVD;真空蒸镀即真空蒸发镀膜,是制备薄膜最一般的方法;这种方法是把装有基