微器件的制作和微电铸均匀性的研究的开题报告

微器件的制作和微电铸均匀性的研究的开题报告一、选题背景及研究意义微器件是指在微米尺度上制作的器件，其具有体积小、重量轻、功耗低等优点，已经广泛应用于电子、光学、机械等领域。微电铸是一种微纳米级三维快速