纵向磁场中溅射机理研究论文

纵向氆场中溅射机理酬究 中义摘要 中文提要 将传统磁控溅射设备阴极内的磁场屏蔽，而在基片下放置一块永磁 铁，即在溅射空间加一纵向磁场；利用该纵向磁场进行溅射。利用这种 配置，我们可以研究纵向磁场对溅射