三氯氢硅精馏提纯过程动态分析

三氯氢硅精馏提纯过程动态分析三氯氢硅（Trichlorosilane，缩写为TCS）是一种常用的有机硅化合物，广泛应用于半导体行业的硅材料加工中。其中，TCS的提纯过程是非常重要的步骤，它能够去除杂质