与DMD相匹配的数字光刻光学系统设计研究的中期报告

与DMD相匹配的数字光刻光学系统设计研究的中期报告背景：数字微镜设备(Digital Micromirror Device, DMD)已经成为数字光刻测量技术的主要代表之一。它的独特的光学特性和高速全