基于电-热-结构耦合模型的硅通孔热力瞬态响应

基于电-热-结构耦合模型的硅通孔热力瞬态响应基于电-热-结构耦合模型的硅通孔热力瞬态响应摘要：本文通过建立一个电-热-结构耦合模型，研究了硅通孔在热力载荷下的瞬态响应。首先，介绍了硅通孔的背景和重要性