一种新型微位移放大机构设计与特性分析

一种新型微位移放大机构设计与特性分析一种新型微位移放大机构设计与特性分析摘要：随着微机电系统（MEMS）技术不断发展，微位移放大器件的需求越来越大，而微位移放大机构是实现微位移放大的重要部分。本文介绍