电子辐照在改善晶体管TS参数方面计算机统计分析研究

摘 要利用电子束辐照是在改善功率双极晶体管存储时间 TS 方面已逐步取代中子辐照或钴-60 辐照的一种新兴技术。在半导体器件制造中使用电子辐照能极大的改善双极晶体管存储时间 TS 的一致性，加快生产效