微电子技术发展历史论文

微电子技术发展历史论文摘要本文展望了 21世纪微电子技术的发展趋势。认为: 21世纪初的微电子技术仍将以硅基CMOS电路为主流工艺， 但将突破目前所谓的物理“限制”，继续快速发展；集成电 路将逐步发展